PT XYZ merupakan perusahaan manufaktur yang bergerak dibidang produksi olahan kayu. Permasalahan yang terjadi pada perusahaan adalah adanya tingkat frekuensi kerusakan mesin yang tinggi pada mesin Finger Joint Fu-King Furnimate dengan kerusakan sebanyak 73 kali dalam waktu satu tahun yaitu tahun 2020. Berdasarkan permasalahan tersebut, diperlukan penelitian untuk menilai Reliability, Availability, Maintainability, dan Safety analysis (RAMS), dimana nilai safety berupa tingkatan Safety Integrity Level (SIL). Berdasarkan perhitungan RAMS Analysis dengan menggunakan pemodelan Reliability Block Diagram (RBD) dan analytical approach, nilai reliability system pada mesin Finger Joint Fu-King Furnimate dengan rentang waktu 8 hingga 160 jam, didapatkan hasil pada saat t = 8 jam sebesar 88,40%, dan pada saat t = 160 jam sebesar 27,42%. Nilai maintainability system untuk mencapai 100% dibutuhkan waktu t = 8 jam. Nilai inherent availability system pada mesin Finger Joint Fu-King Furnimate mencapai 99,35%, dan nilai operational availability system sebesar 99,91%. Mesin Finger Joint Fu-King Furnimate mendapatkan nilai Safety Integrity Level pada tingkat terendah yaitu 1. Nilai leading indicator dan lagging indicator mesin Finger Joint Fu-King Furnimate melebihi world class maintenance key performance indicator. Melihat tingginya nilai availability mesin namun dengan nilai reliability mesin yang rendah, maka PT XYZ perlu meninjau penyebab rendahnya nilai reliability mesin. Lalu melakukan perbaikan mekanisme pemeliharaan mesin, dimana program pemeliharaan mesin yang akan dilakukan PT XYZ melibatkan operator produksi yang terlatih dalam prosedur pemeliharaan mesin dan pengoperasian mesin yang tepat.
Kata Kunci: Maintenance, Reliability, Availability, Maintainability, Safety, Safety Integrity Level (SIL), Key Performance Indicator (KPI)